装置自動化・オンラインソリューション

みずほリサーチ&テクノロジーズでは、半導体・液晶分野における20年以上の工場自動化、装置自動化の業務経験により、自動化、オンライン化に関するコンサルティングから自動化・通信ソフトウェアの提供、サポートサービスに至るトータルサービスを提供しています。

トピックス

• 2024年12月開催のSEMICON Japan 2024 展示会に出展します。
  SEMICON Japan 2024出展のご案内

• ConX300/GWGEM/SDRの新バージョンがリリースされました。
  ConX300/GWGEM/SDR v5.24リリースのお知らせ

• EIBの新バージョンがリリースされました。
  EIB V8.6リリースのお知らせ

• PTOの新バージョンがリリースされました。
  • PTO V8.6リリースのお知らせ

• SECSIM Pro＋の新バージョンがリリースされました。
  • SECSIM Pro＋ V3.8 SP1リリースのお知らせ

• CCS Envoyの新バージョンがリリースされました。
  CCS Envoy V4.2リリースのお知らせ

• PFATの新バージョンがリリースされました。
  PFAT V2.3リリースのお知らせ

• SECSIM Pro+ V3.1，V3.2，V3.3をお使いのお客様へのお知らせがございます。
  • SECSIM Pro+ V3.4のリリースに伴う V3.1,V3.2,V3.3のライセンス移動・登録の制限について

ソリューションマップ

1. 装置オンラインコンサルティング

2.通信仕様書作成支援

3.装置オンライントレーニング

4.装置コントローラソリューション

6.SDR

7.SECS/GEM通信テストソリューション

8.PFAT

9.SECSIM Pro+

10.CCS Envoy CCS Test

11.半導体製造・検査装置ソリューション

13.SDR

14.GWGEM

15.ConX300

16.EIB

17.PTO

装置オンラインコンサルティング

装置オンライントレーニング

SECSをはじめとする業界標準の規格の説明からインターフェース構築後のアフターケアまで、一貫したトレーニングをお客さまに提供します。

通信仕様書作成支援サービス

SEMI E30 GEM規格に準拠するための装置通信仕様書の作成を支援するサービスです。GEM規格で必要とされる記述がすべて含まれている ひな型の通信仕様書を元に、お客さまにて装置固有情報を追加記載することで、独自の仕様書を作成できます。

SECS/GEM通信テストソリューション

装置総合テストツール PFAT^™

PFATは、半導体製造装置に実装されるE30 GEM、GEM300、HSMS通信機能や通信シナリオテストの他、装置の内部保有データまで評価可能な装置総合テストツールです。

SECS、HSMS対応シミュレーター SECSIM Pro^®+

SECSIM Pro+ は、半導体製造装置や工場ホストシステムに実装されるSECS・HSMS（SEMI半導体装置通信スタンダード）通信機能のテストやデバッグができる通信シミュレートソフトウェアです。

200mm・300mm半導体製造装置通信テストツール CCS Envoy^™

CCS Envoyは、半導体製造装置に実装されるE30 GEM、GEM300、HSMS通信機能を、あらかじめ用意されたSEMI規格準拠テスト項目に基いて自動的に評価する事ができるテストツールです。

装置コントローラソリューション

SECS、HSMS対応通信ソフトウェア SDR^™

SDRは、E5 SECS規格やE37 HSMS規格に準拠した通信機能を、半導体製造装置や工場のホストコンピューターに実装するための、組み込み型パッケージソフトウェアです。

半導体製造・検査装置ソリューション

SECS、HSMS対応通信ソフトウェア SDR^™

SDRは、E5 SECS規格やE37 HSMS規格に準拠した通信機能を、半導体製造装置や工場のホストコンピューターに実装するための、組み込み型パッケージソフトウェアです。

GEM、HSMS、SECS対応ソフトウェア GWGEM^®

GWGEMは、E30 GEM規格に準拠した通信機能を半導体製造装置に実装することが出来る、装置組込型パッケージソフトウェアです。

GEM300、SECS、HSMS対応ソフトウェア ConX300^™

ConX300は、GEM300 SEMI規格群に準拠した通信機能を半導体製造装置に実装することが出来る、装置組込型パッケージソフトウェアです。

.NET対応マルチ通信基盤ソフトウェア EIB^®

EIBは、E30 GEM、GEM300、およびInterface-A(EDA) SEMI規格群に準拠した通信機能を半導体製造装置に実装することが出来る、装置組込型パッケージソフトウェアです。

装置統合制御ソフトウェア PTO^®

PTOは、半導体装置内デバイスの制御を始め、装置内ウェハ搬送制御、装置操作画面(HMI)、工場ホストとの SEMI規格準拠通信といった装置内部のソフトウェア機能を統合した、装置統合制御ソフトウェアです。

• *PEER Groupは、カナダ The PEER Group Inc.社の米国およびカナダにおける登録商標です。
• *PTO、PFAT、CCS Envoy、CCS Test、GEM4Toolsは、カナダ The PEER Group Inc.社の米国およびカナダにおける商標です。
• *GWGEM、SECSIM Pro+は、カナダ PEER Intellectual Property Inc.社の米国における登録商標です。
• *SDR、ConX300、EIB、SML、SSLは、カナダ PEER Intellectual Property Inc.社の米国およびカナダにおける商標です。
• *その他記載の製品、サービス名は各社の商標または、登録商標です。