2008年2月7日
みずほ情報総研株式会社
日本ユニシス・エクセリューションズ株式会社
株式会社数理システム

みずほ情報総研株式会社（本社：東京都千代田区、社長：小原 之夫）、日本ユニシス・エクセリューションズ株式会社（本社：東京都新宿区、社長：山本 敏郎）、株式会社数理システム（本社：東京都新宿区、代表取締役社長：山下 浩）は、2月12日 火曜日、国内初となる統合型MEMS（*）用設計・解析ソフトウェア「MemsONE」の販売を開始いたします

新たに発売する「MemsONE」は、平成16年度から3ヵ年に及ぶ、経済産業省／NEDO技術開発機構の「MEMS用設計・解析支援システム開発プロジェクト」において開発された、MEMS設計に特化した国内初の統合型シミュレーションシステムです。みずほ情報総研、日本ユニシス・エクセリューションズ、数理システムの3社は、本プロジェクトにおける「MemsONE」開発への貢献を背景として、商用ライセンスを取得しております。

「MemsONE」は、全体を統合管理するGUIを実装した「フレームワークソフト」、MEMSの設計・開発に必要となる構造、機構、電磁場、熱伝導などの基本的な数値解析機能を備えた「機構解析シミュレータ」、MEMS加工プロセスを総合的に検証、評価する「プロセス解析シミュレータ」などのほか、世界初の機能となる「プロセス逆問題解析ソフト」や「ナノインプリント解析シミュレータ」、「知識データベース」で構成されています。フレームワークソフトには外部プラグイン機能を備え、従来のソフトとの互換性を保つことができます。また、知識データベース、材料・プロセスデータベースの活用により、さまざまな分野の技術者やMEMSプロセスに精通していない技術者がMEMSデバイスの設計から試作評価までを担当することが可能となります。

国内MEMS産業においては、従来、その信頼性と精度から、海外製のシミュレーションシステムが主流であり、統合型のシステムはもとより各ソフトにおいても高価であることから、国内では一部大手ファウンドリーメーカーを除き、その導入が遅れていました。「MemsONE」は、経済産業省／NEDO技術開発機構の「MEMS用設計・解析支援システム開発プロジェクト」として、複数国内企業・団体、大学等の協力により開発が実現したことで、廉価での販売が可能となりました。今後、従来のファウンドリーメーカーだけでなく、幅広い事業分野においてMEMS組み込み製品の開発が促進され、国内MEMS産業の発展および関連マーケットの拡大が期待されます。

「MemsONE」の販売に際しては、民間企業に向けては、みずほ情報総研、日本ユニシス・エクセリューションズ、数理システムが担当、導入サポートから付随するカスタマイズ、MEMS設計・開発に伴うコンサルティングサービスをご提供いたします。大学・公的研究機関に向けては、財団法人マイクロマシンセンターが頒布を行います。今後3年間で1,000ライセンスの普及を目指します。

• *MEMS（Micro Electro Mechanical System：微小電気機械システム）とは、電気回路（制御部）と微細な機械構造（駆動部）を融合し、ひとつの基板上に集積させた部品。半導体製造技術やレーザー加工技術など各種の微細加工技術を用いて製造され、主にインクジェットプリンタのヘッド部にある微小ノズルや圧力センサー、加速度センサー、流量センサーなどに活用されている。今後、情報通信、医療・バイオ、自動車、ロボット、航空・宇宙、福祉など多様な分野における小型・高精度で省エネルギー性に優れた高性能のキーデバイスとして期待されており、国内製造業における基幹部品の国際競争力強化などの観点から、重要な分野である。財団法人マイクロマシンセンターの調査によると、2005年の国内MEMS関連市場は約4,400億円であり、2010年は1兆1,700億円、2015年は2兆4,000 億円と市場規模の拡大が予測されている。

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「MemsONE」の著作権は以下の企業・団体に帰属します。

• フレームワークソフト：日本ユニシス・エクセリューションズ株式会社
• 機構解析シミュレータ、プロセス解析シミュレータ、ウェットエッチング解析シミュレータ、ナノインプリント解析シミュレータ：みずほ情報総研株式会社
• プロセス逆問題解析ソフト、MEMS回路シミュレータ：株式会社数理システム
• 知識データベース、材料・プロセスデータベース：財団法人マイクロマシンセンター

• *MEMSONE／メムスワンは財団法人マイクロマシンセンターの登録商標です。

みずほ情報総研では、エレクトロニクス、バイオテクノロジーなどの先端技術の調査・研究をはじめ、流体解析、半導体素子設計、構造解析などを通じて蓄積した技術をもとに、シミュレーションシステムの開発や解析支援コンサルティングサービスを提供しております。

• *詳細はMEMS用設計・解析支援システム MemsONEをご覧ください。
  https://www.mizuho-ir.co.jp/solution/research/semiconductor/mems/framework/index.html

日本ユニシス・エクセリューションズは、CAD／CAM／CAEソリューションの専門企業として商品開発・販売・サポート業務を積極的におこなっており、日本のものづくりを技術面から支援しています。

• *詳細は日本ユニシス・エクセリューションズをご覧ください。

数理システムは、数学物理の知識を基にしたいわゆる科学技術計算のパッケージ開発、販売、委託開発などを行っています。とりわけ半導体関連のEDAツール開発には20年来の開発経験があり、昨今はMEMS分野にも精力的に力を注いでいます。

• *詳細は数理システムをご覧ください。