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解析精度の向上によりMEMSデバイスの設計・開発の効率化を実現

統合型MEMS用設計・解析支援システム「MemsONE」Ver.2.0をリリース

2009年1月22日
MemsONEコンソーシアム

財団法人マイクロマシンセンター、みずほ情報総研株式会社、日本ユニシス・エクセリューションズ株式会社、株式会社数理システムにより2008年2月14日に結成された「MemsONEコンソーシアム」（*1）は、2009年2月2日 月曜日より、MEMS（*2）用設計・解析ソフトウェア「MemsONE」Ver.2.0の販売を開始いたします。

「MemsONE」は、2004年度から3ヵ年に及ぶ、経済産業省／NEDO技術開発機構の「MEMS用設計・解析支援システム開発プロジェクト」において開発された、MEMS設計に特化した国内初の統合型シミュレーションシステムです。本システムは、MEMSの設計・開発に必要となる、3次元モデラー、薄膜に適したメッシャー、マスクCAD、構造、機構、電磁場、熱伝導、ナノインプリントなどの基本的な数値解析機能を備えた「機構解析シミュレータ」、 MEMS加工プロセスを総合的に検証、評価する「プロセス解析シミュレータ」などを備えています。

新たに発売する「MemsONE」Ver.2.0では、モデリング機能の強化や連成解析における境界要素法解法の追加により解析精度が向上し、複合化するMEMSデバイスの設計・開発を効率よく行うことが可能となりました。

2008年2月に出荷を開始した「MemsONE」Ver.1.0は、約40機関で採用され、出荷ライセンス数は150となっています。今回の「MemsONE」Ver.2.0の出荷により、Ver.1.0の導入実績と合わせ、今後1年間で100機関、500ライセンスの普及を目指します。

「MemsONE」Ver.2.0の概要

左右スクロールで表全体を閲覧できます

製品名 MemsONE Ver.2.0
発売日 2009年2月2日 月曜日
販売元 みずほ情報総研株式会社、日本ユニシス・エクセリューションズ株式会社、株式会社数理システム
（大学・公的研究機関向け頒布は、財団法人マイクロマシンセンターが担当）
商品体系 MemsONE Standardシリーズ（MEMS設計・開発における実用版）
MemsONE Liteシリーズ（試用版）

「MemsONE」Ver.2.0の概要

  • Microsoft® Windows Vista®（64ビット版）への対応
  • 曲面を用いたモデリング機能の強化
  • 4面体要素追加等のメッシャーの強化
  • 電界と力学の連成解析における境界要素法解法の追加
  • MEMS回路シミュレータにおけるMEMS素子の追加
  1. *1「MemsONE」の本格的な普及を目的に、社団法人マイクロマシンセンター、みずほ情報総研株式会社、日本ユニシス・エクセリューションズ株式会社、株式会社数理システムにより2008年2月14日に結成された。「MemsONE」の開発・販売・頒布を行う。
  2. *2MEMS（Micro Electro Mechanical System：微小電気機械システム）：電気回路（制御部）と微細な機械構造（駆動部）を融合し、ひとつの基板上に集積させた部品。半導体製造技術やレーザー加工技術など各種の微細加工技術を用いて製造され、主にインクジェットプリンタのヘッド部にある微小ノズルや圧力センサー、加速度センサー、流量センサーなどに活用されている。今後、情報通信、医療・バイオ、自動車、ロボット、航空・宇宙、福祉など多様な分野における小型・高精度で省エネルギー性に優れた高性能のキーデバイスとして期待されており、国内製造業における基幹部品の国際競争力強化などの観点から、重要な分野である。
  • MemsONEの詳細については、こちらをご覧ください。
    https://www.mizuho-ir.co.jp/solution/research/semiconductor/mems/index.html

「MemsONE」の著作権は以下の企業・団体に帰属します。

  • 日本ユニシス・エクセリューションズ株式会社：フレームワークソフト
  • みずほ情報総研株式会社：機構解析シミュレータ、プロセス解析シミュレータ、ウェットエッチング解析シミュレータ、ナノインプリント解析シミュレータ
  • 株式会社数理システム：プロセス逆問題解析ソフト、MEMS回路シミュレータ
  • 財団法人マイクロマシンセンター：知識データベース、材料・プロセスデータベース
  • *MEMSONE／メムスワンは財団法人マイクロマシンセンターの登録商標です。
  • *Microsoft、Windows Vistaは、米国Microsoft Corporationの米国およびその他の国における登録商標または商標です。
  • *Windowsの正式名称は、Microsoft Windows Operating Systemです。
  • *その他記載の会社名および商品名は、各社の商標または登録商標です。

サービスに関するお問い合わせ

財団法人マイクロマシンセンター
MemsONEサポートセンター 水津 美晴
電話：03-5835-1870
E-mail：mems1-user@mmc.or.jp

みずほ情報総研株式会社
サイエンスソリューション部 佐藤 淳史、浅海 和雄
電話：03-5281-5303
E-mail：ss-mems1@mizuho-ir.co.jp

日本ユニシス・エクセリューションズ株式会社
エンジニアリングソリューショングループ 宮部 昇一
電話：03-5287-7813
E-mail：mems-info@ml.excel.co.jp

株式会社数理システム
科学技術部 水田 千益、望月 俊輔
電話：03-3358-1701
E-mail：mems-info@msi.co.jp

ニュースリリースに関するお問い合わせ

みずほ情報総研株式会社
広報室 佐藤 綾子、平石 祐二
電話：03-5281-7548
E-mail：info@mizuho-ir.co.jp

日本ユニシス・エクセリューションズ株式会社
ビジネスサポートセンター 熊谷 直樹
電話：03-5287-7864

お問い合わせ

担当：広報室
電話：03-5281-7548

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