2010年1月20日
MemsONEコンソーシアム

財団法人マイクロマシンセンター、みずほ情報総研株式会社、日本ユニシス・エクセリューションズ株式会社、株式会社数理システムにより構成される「MemsONEコンソーシアム」（*1）は、本日よりMEMS（*2）用設計・解析ソフトウェア「MemsONE」Ver.3.0の販売を開始いたします。

「MemsONE」は、経済産業省/NEDO技術開発機構の「MEMS用設計・解析支援システム開発プロジェクト」において開発された、MEMS設計に特化した国内初の統合型シミュレーションシステムです。本システムは、MEMSの設計・開発における構造、電磁場、熱伝導などの数値解析機能を備え、動作機構を総合的に検証・評価する「機構解析シミュレータ」、エッチング、マルチプロセスによるMEMS製造プロセスを総合的に検証・評価する「プロセス解析シミュレータ」、そのほか「プロセス逆問題解析ソフト」や「ナノインプリント解析シミュレータ」、「知識データベース」などで構成されています。本システムの活用により、さまざまな分野の技術者やMEMS製造プロセスに精通していない技術者がMEMSを容易に設計し、迅速に試作評価を行うことが可能となります。

新たに発売する「MemsONE」Ver.3.0では、櫛歯形状などのモデリング機能、薄膜積層構造のメッシュ分割機能強化や電界解析における境界要素法解法の追加、MEMS回路シミュレーションにおける積層梁などの新素子追加、素子の編集機能、解析パラメータのスイープ機能の追加、さらに、材料・プロセスデータベースのデータの大幅追加などにより、近年ますます複合化するMEMSデバイスの設計・開発をより効率よく行うことが可能となりました。

2009年2月に販売を開始した「MemsONE」Ver.2.0は、約60機関で採用され、出荷ライセンス数は約200となっています。今回の「MemsONE」Ver.3.0の発売により、今後1年間で120機関、400ライセンスの普及を目指します。

1. *1「MemsONE」の本格的な普及を目的に、社団法人マイクロマシンセンター、みずほ情報総研株式会社、日本ユニシス・エクセリューションズ株式会社、株式会社数理システムにより2008年2月14日に結成、MemsONEの開発・販売・頒布を行う。
2. *2MEMS（Micro Electro Mechanical System：微小電気機械システム）：電気回路（制御部）と微細な機械構造（駆動部）を融合し、ひとつの基板上に集積させた部品。半導体製造技術やレーザー加工技術など各種の微細加工技術を用いて製造され、主にインクジェットプリンタのヘッド部にある微小ノズルや圧力センサー、加速度センサー、流量センサーなどに活用されている。今後、情報通信、医療・バイオ、自動車、ロボット、航空・宇宙、福祉など多様な分野における小型・高精度で省エネルギー性に優れた高性能のキーデバイスとして期待されており、国内製造業における基幹部品の国際競争力強化などの観点から、重要な分野である。