2012年2月6日
MemsONEコンソーシアム

一般財団法人マイクロマシンセンター、みずほ情報総研株式会社、株式会社数理システムにより構成される「MemsONEコンソーシアム」^(*1)は、本日よりMEMS^(*2)用設計・解析ソフトウェア「MemsONE」Ver.5.0の販売を開始します。

「MemsONE」は、MEMSの設計・開発における構造、電磁場、熱伝導などの数値解析機能を備え、動作機構を総合的に検証・評価する「機構解析シミュレータ」、エッチング、マルチプロセスによるMEMS製造プロセスを総合的に検証・評価する「プロセス解析ツール」、そのほか「プロセス逆問題解析ソフト」「MEMS回路シミュレータ」「ナノインプリント解析シミュレータ」「知識データベース」などで構成された、MEMS設計に特化した国内初の統合型シミュレーションシステムです。本システムの活用により、さまざまな分野の技術者やMEMS製造プロセスに精通していない技術者がMEMSを容易に設計し、迅速に試作評価を行うことが可能となります。

今回リリースする「MemsONE」Ver.5.0では、回路シミュレータの機能改善により、機構解析の結果から動作特性マクロモデルを抽出し、機構解析と回路解析を有機的に連携させることが可能となりました。また、各解析機能のチュートリアルの見直しや材料データベースのユーザ登録・更新機能の改善等により、ユーザの知見ならびに材料物性等のデータを活かすことで、MEMSデバイスの設計・開発にかかるストレスを軽減するとともに、より効率よく設計･開発を行うことが可能となりました。さらにユーザからの要望に応え、プロセス解析に係わる各種データの追加・拡充、回路解析のMEMS素子モデルの追加、知識データベースの補充等についても改良を行いました。MemsONEは、今後も機能強化を行うとともにGUIの英語化対応に着手することで、海外を含めてますますの普及展開を図ります。

「MemsONE」は、2008年2月にVer1.0をリリースして以来、これまでに約85機関で採用されており、出荷ライセンス数は約250となっています。今回のMemsONE Ver.5.0の発売により、Ver.1.0～Ver.4.0の導入実績と合わせ、今後1年間で約120機関、400ライセンスの普及を目指します。

1. *1MemsONEの本格的な普及を目的に2008年2月14日に結成、MemsONEの開発・販売・頒布を行う。
2. *2MEMS（Micro Electro Mechanical System：微小電気機械システム）：電気回路（制御部）と微細な機械構造（駆動部）を融合し、ひとつの基板上に集積させた部品。半導体製造技術やレーザー加工技術など各種の微細加工技術を用いて製造され、主にインクジェットプリンタのヘッド部にある微小ノズルや圧力センサー、加速度センサー、流量センサーなどに活用されている。今後、情報通信、医療・バイオ、自動車、ロボット、航空・宇宙、福祉など多様な分野における小型・高精度で省エネルギー性に優れた高性能のキーデバイスとして期待されており、国内製造業における基幹部品の国際競争力強化などの観点から、重要な分野である。