GEM、HSMS、SECS対応ソフトウェア GWGEM® 概要
GWGEMは、E30 GEM規格に準拠した通信機能を半導体製造装置に実装することが出来る、装置組込型パッケージソフトウェアです。
GWGEMによって、ICメーカなど装置出荷先の要求仕様にあるE5 SECS規格、E37 HSMS規格、E30 GEM規格に対応することができます。
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| 実績 |
※VLSI Research Inc.社発表 "2011 Top Semiconductor Equipment Suppliers" 日本製半導体装置の100種以上に採用され10,000台を超える出荷実績があります 【 GWGEMを導入している主な装置 ( 日本製装置 ) 】 チップマウンタ、洗浄装置、CVD、PVD、CMP、光学顕微鏡、電子顕微鏡、ステッパー、EB直描、X線検査、エッチャー、アッシャー、ICテスタ、SEM、平面研削盤、レジスト塗布、インプラ、スライサー、めっき、ダイサー、ハンドラ、プローバー、裏面研削盤、スピナー、レーザマーカー、キャリア搬送機、マスク製造、薄膜形成、ボンダー |
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| 概要 |
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- *GWGEMは、カナダ PEER Intellectual Property Inc.社の米国における登録商標です。
- *Microsoft Windows は米国Microsoft Corporationの米国およびその他の国における登録商標または商標です。
- *その他記載の製品、サービス名は各社の商標または、登録商標です。
関連情報
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