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装置統合制御ソフトウェア PTO™ 概要

PTOは、半導体装置内デバイスの制御を始め、装置内ウェハ搬送制御、装置操作画面(HMI)、工場ホストとの SEMI規格準拠通信といった装置内部のソフトウェア機能を統合した、装置統合制御ソフトウェアです。

PTOとは

半導体製造・検査装置は、前工程、後工程を問わず、ウェハ加工や検査のためのハードウェアと、それらを コントロールするソフトウェアシステムで構成されています。

PTOは、装置内で必要となる各種ソフトウェアを機能単位で部品化し、装置タイプや装置の機能に応じてそれら 部品を取捨選択しリンクすることで、前/後工程装置、処理/検査装置を問わず、さまざまな装置タイプの制御 システムを構築することが出来る、装置組み込み型のソフトウェアです。

PTO概要図

装置内の各種ソフトウェアを部品として標準化することで、汎用性、流用性、拡張性、メンテナンス性を確保

概要

次のようなお悩みを解決します！

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マーク1 【課題】
装置内システムの設計・開発に時間がかかり、製造原価の圧縮ができない。
短納期の装置リリースも困難。

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マーク2 装置内にはさまざまなソフトウェアシステムがあり、それぞれが連携して動作する必要があります。
これらをスクラッチで設計・開発すると膨大な時間とコストがかかるほか、装置リリース時期の遅延や、納入後のトラブルに悩まされることになります。
PTOを適用すると、部品として完成された装置内各種システムを装置特性に合わせて取捨選択し、組み合わせることで、容易に装置制御システムが構築でき、製造原価の圧縮や短期リリースに寄与します。

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マーク1 【課題】
エンドユーザの要求がまちまちで、装置リリースのたびに改造に時間を取られる。

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マーク2 ロードポート数やメーカは納入先工場から指定される場合がありますが、これら要求仕様ごとに改造や開発を行う必要はありません。
PTOには各社のハードウェアを制御するための数多くのドライバーが内蔵されています。
ロードポートユニットでは、BrooksやTDKなど6社11モデルに対応。A社のロードポートをB社のものに変更する場合や、ロードポートを増設する場合など、基本的には設定変更で対応が可能です。
また、設定した機器構成情報を保存・管理できるため、A工場向けリリース構成やB工場向けリリース構成といった管理ができます。

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マーク1 【課題】
新技術を取り入れた装置をいち早く市場に投入したいが、核となる技術以外の足回り ( ロードポート、シグナルタワー、アームの実装、HMIの開発など ) に時間を取られ商機を逸してしまう。

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マーク2 枚葉処理・検査装置の場合、ウェハを装置に引き込むための機構やHMIは、どの装置でも大きな違いは無いため、それらのスクラッチ開発に時間とコストを費やすことは得策ではありません。
PTOが持つ、完成された既存部品を使用することで、装置コア以外のシステムを短期間に製作し、いち早く装置を市場に投入することができます。

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マーク1 【課題】
旧タイプの装置をベースに新装置をリリースしたいが、装置内のソフトウェアシステムが煩雑・複雑で流用できない。

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マーク2 装置内のシステムは、たび重なる場当たり的な機能追加や改造などによって巨大化、複雑化し、もはや流用や改造ができなくなってしまう場合があります。
PTOでは、装置内のさまざまなソフトウェアシステムをフレームワーク上で一元管理しており、機能追加やカスタマイズソフトもビジュアルに管理可能。新機種開発時における流用も容易です。

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マーク1 【課題】
制御プログラム開発時、ハードウェアが手元に無いため、十分なテストができない。
またシミュレータ開発などの余計な作業が発生してしまう。

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マーク2 PTOには各社のハードウェアを制御するための数多くのドライバーが内蔵されていますが、それぞれにハードウェアシミュレータも用意しています。ロードポートやロボットアーム、シグナルタワーや真空装置などのハードウェアが無くても、シミュレーションモードでシステムの設計や動作確認、テストが可能です。

  • *PEER Group®は、カナダ The PEER Group Inc.社の米国およびカナダにおける登録商標です。
  • *PTO™は、カナダ The PEER Group Inc.社の米国およびカナダにおける商標です。
  • *その他記載の製品、サービス名は各社の商標または、登録商標です。

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