ページの先頭です

通信仕様書作成支援サービス サービス詳細

図

  • 装置通信仕様書作成ノウハウを習得
  • 装置固有の通信仕様書を短期間に作成
  • 仕様書作成時の注意点などを解説
  • 作成した仕様書は他の自社製装置用にも流用可能
  • 300mm関連スタンダード対応の仕様書作成も支援(オプション)

関連情報

おすすめソリューション

SECSIM Pro+ は、半導体製造装置や工場ホストシステムに実装されるSECS・HSMS(SEMI半導体装置通信スタンダード)通信機能のテストやデバッグができる通信シミュレートソフトウェアです。

PFATは、半導体製造装置に実装されるE30 GEM、GEM300、HSMS通信機能や通信シナリオテストの他、装置の内部保有データまで評価可能な装置総合テストツールです。

EIBは、Interface-A(EDA)、E30 GEM、およびGEM300 SEMI規格群に準拠した通信機能を半導体製造装置に実装することが出来る、装置組込型パッケージソフトウェアです。

ConX300は、GEM300 SEMI規格群に準拠した通信機能を半導体製造装置に実装することが出来る、装置組込型パッケージソフトウェアです。

GWGEMは、E30 GEM規格に準拠した通信機能を半導体製造装置に実装することが出来る、装置組込型パッケージソフトウェアです。

ページの先頭へ