通信仕様書作成支援サービス サービス詳細

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SECSIM Pro+ は、半導体製造装置や工場ホストシステムに実装されるSECS・HSMS（SEMI半導体装置通信スタンダード）通信機能のテストやデバッグができる通信シミュレートソフトウェアです。

• 装置総合テストツール PFAT

PFATは、半導体製造装置に実装されるE30 GEM、GEM300、HSMS通信機能や通信シナリオテストの他、装置の内部保有データまで評価可能な装置総合テストツールです。

• .NET対応マルチ通信基盤ソフトウェア EIB

EIBは、Interface-A(EDA)、E30 GEM、およびGEM300 SEMI規格群に準拠した通信機能を半導体製造装置に実装することが出来る、装置組込型パッケージソフトウェアです。

• GEM300、SECS、HSMS対応ソフトウェア ConX300

ConX300は、GEM300 SEMI規格群に準拠した通信機能を半導体製造装置に実装することが出来る、装置組込型パッケージソフトウェアです。

• GEM、HSMS、SECS対応ソフトウェア GWGEM

GWGEMは、E30 GEM規格に準拠した通信機能を半導体製造装置に実装することが出来る、装置組込型パッケージソフトウェアです。