- 概要
- サービス詳細
SEMI E30 GEM規格に準拠するための装置通信仕様書の作成を支援するサービスです。GEM規格で必要とされる記述がすべて含まれている ひな型の通信仕様書を元に、お客さまにて装置固有情報を追加記載することで、独自の仕様書を作成できます。
サービス内容
通信仕様書(ひな型)のご提供と共に、弊社スタッフが仕様書作成のコンサルティングを行います。
＜通信仕様書(ひな型)について＞
- Microsoft® Wordで記述された文書ファイルなので、すぐに編集をはじめることができます。
- GEMの各状態モデルやSECSのメッセージフォーマットが全て記述されていますので短期間で間違いのない判り易い仕様書を作成することができます。
- 文書中の図は、画像形式で提供されます。
- 文書は英文となります。また参考資料として日本語訳も提供します。
- 300mm関連スタンダードの仕様書作成支援サービス(オプション)も用意しています。
＜コンサルティングについて＞
- ひな形の通信仕様書に対して、どのような追加・編集を行うべきかを弊社スタッフが説明します。
- お客様が作成した通信仕様書をレビューし、E30 GEM規格に準じているか確認いたします。
- *Microsoftは米国Microsoft Corporationの米国およびその他の国における登録商標または商標です。
- *その他記載の製品、サービス名は各社の商標または、登録商標です。
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