装置総合テストツール PFAT™ 概要

PFATは半導体製造装置のSECS通信インターフェースのテストに特化したさまざまな機能を有しています。

左右スクロールで表全体を閲覧できます

－ PEER Factory Acceptance Tester ( PFAT ) で実現 －
実運用に即した出荷テスト	正常ケースのテストはもとより、実運用に即したシナリオのテスト 複数キャリア同時処理時のシナリオ 装置の起動・停止、障害発生時のリカバリなどの非定常シナリオ
ディグレーションテスト	オンライン機能追加・変更時のディグレーションテストを効率的に実施 既存機能のディグレード確認をすばやく合理的に実行 追加・変更した部分のテスト項目も、もちろんテスト可能
SECSアイテム値の妥当性チェック	各SECSアイテムのフォーマットから値に至る詳細情報を自動的に評価 テスト結果の確認に要する時間を低減 StreamFunction番号のみ、SECSフォーマットのみのテストもOK
テスト担当のスキルに左右されない安定的なテスト	目視確認などによるテスト結果評価と比べ安定的な評価 オンライン通信に関するスキルやノウハウを必要とせずテストを実行 優れたエンジニアを退屈なテスト作業から開放し、よりクリエイティブな仕事を!!

• PFAT動作環境
• 装置自動化・オンラインソリューション サポート情報

概要

半導体製造装置に求められる機能の一つとして、工場ホストとのSEMI規格準拠通信インターフェースの実装がありますが、装置の動作に伴うSECS通信メッセージの送受信タイミングや、それら送信データの整合性といった、工場での実運用に即したSECS通信シナリオに対応することが求められています。

PFATは従来のCCS Envoy™テストソフトウェアに無かった、実運用ベースのSECS通信シナリオをテストすることができます。

テストのための設定をしてしまえばSEMIスタンダードの専門的な知識が少なくともマルチチャンバー装置や複数ロット仕掛り時の通信テストなど、複雑なテストを効率的にテストすることができます。

PFATを使用することで、装置出荷時のSECS通信インターフェースのテストや、SECS通信仕様の変更時におけるデグレーションテスト、実運用に即した複雑な総合通信テストを合理的・効率的に実施でき、またテスト結果がテスト担当者のスキルに左右される懸念を低減できます。

• *PEER Group^®は、カナダ The PEER Group Inc.社の米国およびカナダにおける登録商標です。
• *PFAT™、CCS Envoy™は、カナダ The PEER Group Inc.社の米国およびカナダにおける商標です。
• *その他記載の製品、サービス名は各社の商標または、登録商標です。

ソリューション一覧へ