200mm・300mm半導体製造装置通信テストツール CCS Envoy™ 概要

CCS Envoyは、半導体製造装置に実装されるE30 GEM、GEM300、HSMS通信機能を、あらかじめ用意されたSEMI規格準拠テスト項目に基いて自動的に評価する事ができるテストツールです。

ISMIテストプロトコル	ISMIにてGEM300テストプロトコルとして紹介される唯一の製品 GEM300の各スタンダードに準拠し標準装置受入テストとして認知 ISMIのシナリオテストをサポート
ディグレーションテスト	各スタンダードの各バージョンのテストを効率的に実施既存スタンダード機能のディグレーション確認を実施可能装置に追加・変更した部分の準拠テストも実施可能
固定化されたテストシナリオ	スタンダードごとに装置のSEMI規格準拠状態を客観的に評価装置の詳細情報を登録するだけで客観的にPass/Failの判定各シナリオ・規格に準拠した独自の連続テストも実施可能
テスト担当のスキルに左右されない安定的なテスト	目視確認によるテスト結果評価と比べ安定的な評価オンライン通信のスキルやノウハウを必要とせずテストを実行優れたエンジニアを退屈なテスト作業から解放

概要

テストインターフェースであるCCS Envoyと、SEMI規格のバージョンに合わせたテスト計画フレームワークであるCCS Testで、標準化されたテストを実施できます。

わかりやすく、シンプルな操作性、視認性の高いテスト結果と通信ログでテストを円滑に行うことができます。