200mm・300mm半導体製造装置通信テストツール CCS Envoy™ 機能

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• 装置自動化・オンラインソリューション サポート情報

機能

すぐに使えるパッケージソフトウェア

テストインターフェースCCS Envoyとテスト計画フレームワーク CCS Testとの組合せによりインストール後、装置データを定義するだけでSECS-IとHSMS両方のインターフェースのテストを実施できます。

最新のSEMI規格に準拠したテスト計画フレームワーク

各SEMIスタンダードのバージョンに合わせたテスト計画フレームワークを提供します。装置の仕様にあわせた装置テストデータ・結果期待値を設定することで、スタンダードの適合性を確認できます。

対応 SEMIスタンダード

• E4 SECS-I
• E5 SECS-II
• E23 Parallel I/O Unit Test
• E30 GEM
• E37.1 HSMS-SS
• E84 Enhanced Parallel I/O Unit Test
• E87 Carrier Management
• E90 Substrate Tracking
• E40 Process Job
• E94 Control Job

ユーザによるSECS-IIメッセージ作成可能

装置固有のSECS－II メッセージを作成し任意のタイミングで送信することができます。簡易なSECS-IIメッセージ通信テストツールとしてもご使用いただけます。

HSMS通信シミュレート機能

HSMS-SSのコントロールメッセージを任意のタイミングで送信することができます。簡易なHSMS通信テストツールとしてもご使用いただけます。

• *PEER Groupは、カナダ The PEER Group Inc.社の米国およびカナダにおける登録商標です。
• *CCS Envoy, CCS Testは、カナダ The PEER Group Inc.社の米国およびカナダにおける商標です。
• *その他記載の製品、サービス名は各社の商標または、登録商標です。

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