装置総合テストツール PFAT™ 導入効果

PFATの導入により、半導体製造装置のSECS通信インターフェーステストに関する効率化、合理化を実現し、これらによりコスト削減や顧客満足度の向上に寄与します。

• PFAT動作環境
• 装置自動化・オンラインソリューション サポート情報

導入のメリット

通信システムのテスト工数削減

• SECSメッセージのStreamFunction番号から、SECSアイテムフォーマット、各アイテムの値やレングスのチェックに至るテストを自動的に実行することができます。これにより、通信テスト実行後の膨大なメッセージログの目視確認作業を必要としません。
• 通信シナリオや期待値をグラフィカルユーザインターフェースを通じて直感的に設定できるよう設計されているため、SSL言語といったプログラミングの知識を要することなく短期間にテストの設定を行うことができ、これによりテスト環境の構築に要する時間とコストを削減できます。
• 異常ケースなどのテストも、事前に設定しておくことで自動的にテストできます。
• テスト結果レポート機能により、どの部分でどのような不具合が発生したか容易に判別できるため、テスト後の不具合部分の特定にかかる時間を削減できます。
• テストの流れを区切ってサブルーチン化、部品化することで、テスト部品が流用でき、これによりテスト設定工数の削減に寄与します。
• テストシナリオの組み換えや、ピンポイント指定の繰り返しテストを行うことができます。

ディグレーションテストの効率UP

• 標準シナリオを予め定義しておくことで、機能追加や仕様変更時における、既存機能のディグレーションテストを短期間に行うことができます。
• 特定部分のシナリオを繰り返し実行するリピート機能の活用により、ロングランテストやラッシュテストを容易に行うことができます。

通信システムの品質向上

• テストの結果は期待値の定義に基づきPFATが自動判定するため、テスト担当者のスキルやノウハウに左右されることなく、安定的で中立的なテストを実現できます。
• SEMIスタンダード対応テストだけでなく、装置固有の運用シナリオ、各社ICメーカの運用シナリオのテストを実施することができます。
• マルチチャンバー装置や複数キャリアの仕掛りテストなど、SEMI通信スタンダードのテストだけではカバーできない、より実運用に即した通信テストを行うことができます。

• *PEER Group^®は、カナダ The PEER Group Inc.社の米国およびカナダにおける登録商標です。
• *PFAT™は、カナダ The PEER Group Inc.社の米国およびカナダにおける商標です。
• *その他記載の製品、サービス名は各社の商標または、登録商標です。

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