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装置総合テストツール PFAT™ 機能

PFATは半導体製造装置のSECS通信インターフェースのテストに特化したさまざまな機能を有しています。

機能

グラフィカルインターフェースによるテストの定義と実行

テストシナリオの設定画面や実行画面では、フローチャートライクなビジュアルユーザインターフェースを採用しています。

テスト設定の定義では、テスト部品をドラッグ&ドロップすることで、テストシナリオの構築、組み換え、繰り返し処理などが容易に行えるほか、テスト実行時はテスト進捗状況がビジュアルかつリアルタイムに表示されます。

グラフィカルインターフェースのサンプル画面

フローチャートテスト設定・定義の詳細

テストシナリオはフローチャートを書くイメージで直感的に設定が可能です。また一般的なプログラミング言語のサブルーチンのようなイメージで、ある一定のシナリオを部品化し流用することができます。

また、処理Aの次は処理B、といった単純なシナリオから、条件分岐、複数条件の同期処理、リピート処理といった複雑なシナリオを設定することができます。

フローチャートテスト設定・定義のサンプル画面

テストレポート機能

テストの実施結果は自動的に保存され、レポートとして参照が可能です。過去に実施したテストレポートも日付指定で容易に呼び出し参照が可能です。

通信ログはSECS規格-E5のSECSアイテムディクショナリで定義されたアイテム名が注釈としてログ上に表示され、複雑なSECSメッセージの各アイテムを容易に判別できるようになっています。

テストレポート機能のサンプル画面
  • *PEER Group®は、カナダ The PEER Group Inc.社の米国およびカナダにおける登録商標です。
  • *PFAT™は、カナダ The PEER Group Inc.社の米国およびカナダにおける商標です。
  • *その他記載の製品、サービス名は各社の商標または、登録商標です。

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