概要 機能 解析事例 利用形態 一覧に戻る 電位分布（2次元・3次元ベクトル表示、2次元・3次元コンター表示） 電流密度分布（2次元・3次元ベクトル表示） 膜厚分布（2次元コンター表示、1次元グラフ表示） 解析結果表示例 電位分布（3次元） 電位分布（2次元断面） 電流密度分布（断面） 膜厚分布（個別パターン面内） 膜厚分布（カソード面内） 膜厚分布（1次元グラフ） 機能1.形状作成機能 機能2.解析機能 機能3.解析結果表示機能 一覧に戻る
