装置オンライントレーニング コース案内

SECS・GEMトレーニング

目的

SECS・GEMで定める用語や通信の仕組みについて理解していただくことにより、通信インターフェース構築および通信テストに必要な通信仕様設計・作成・評価、打合せ、開発、テスト、運用など一連の作業を円滑に進めるための基礎知識を固めます。

本トレーニングには、各規格の説明だけではなく、半導体製造装置メーカー様およびデバイスメーカーさまにとって、どの部分（規格）をどれだけ満足すれば良いのかなどのコンサルティングも行います。

資料

• 基本トレーニング資料（当社にて提供します。）
• SEMI Standards（SEMIジャパン発行。お客さまにてご用意ください。）

トレーニング内容（2日間）

2日間連続が原則となります。

1日目　SECS-I、II　トレーニング

半導体製造装置とHOSTとの通信プロトコルであるSECS-I、II、HSMSをご理解いただくためのトレーニングです。

• SECSの概要
• 専門用語の説明
• 物理的な接続規約
• 通信プロトコルの説明
• 通信情報（ログ）の解析方法の説明
• 一般的な通信シーケンスについて
• その他全体を通した重要部分のコンサルティング

2日目　GEMトレーニング

GEM規格をご理解いただくためのトレーニングです。

• GEMの概要
• GEM規格の目的の説明
• GEM規格の範囲の説明
• 基本条件、追加性能条件の詳細説明

その他全体を通した重要部分のコンサルティング

インターフェース仕様書作成コンサルティング

目的

装置インターフェース仕様書をSECS・GEMに準拠した形で作成することを目的としています。仕様書作成にあたって、GEM準拠装置通信仕様書テンプレート（DOC-W-004）をもとに、記述するべき内容や作成上の注意点などをトレーニングいたします。本トレーニング終了後、お客さまが作成したインターフェース仕様書を、当社が内容確認し、コンサルティングさせていただきます。

なお、本トレーニングにはGEM準拠装置通信仕様書テンプレート（DOC-W-004）が必要となります。

資料

カナダ PEER Group社作成の「 GEM準拠装置通信仕様書テンプレート（DOC-W-004）」

トレーニング・コンサルティング内容

トレーニング内容 (半日間)

• GEM準拠装置通信仕様書テンプレートの章構成の説明
• GEM準拠表の説明
• モデル化についての説明
• シナリオについての説明
• メッセージフォーマットについての説明
• 各種情報管理（SV、DV、EC、EVENT、ALARM）についての説明
• GEM準拠装置通信仕様書テンプレート内で修正する部分 （貴社装置の特性を述べる部分）についての説明
• その他GEM準拠装置通信仕様書テンプレートに盛り込むことが慣例となっている項目の説明

コンサルティング内容

トレーニング終了後、まずお客さまにて仕様書を作成していただき、当社へご郵送いただきます。
当社では、主に以下の事項を中心に仕様書の内容確認を行い、報告書を提出します。

• モデル化の妥当性
• シナリオの妥当性
• GEM準拠表の妥当性
• 使用メッセージの妥当性
• 各種情報管理（SV、DV、EC、EVENT、ALARM）の妥当性
• 仕様書に盛り込むことが必要である項目の記述もれなどの確認

GWGEM^®・SDR™トレーニング

目的

GWGEM・SDRを使用して、装置インターフェースプログラムを作成するために、GWGEM・SDRの使用方法をご理解いただくことを目的としています。また、本トレーニングは開発を開始する前に2回に分けて実施します。第1回目はGWGEM・SDR概要トレーニングで、第2回目はGWGEM・SDR開発トレーニングです。

なお、本トレーニングにはGWGEM・SDRが必要となります。

資料

• GWGEM・SDR概要トレーニング資料
• GWGEM・SDR開発トレーニング資料（ともに当社が提供します）

トレーニング内容（2日間）

GWGEM・SDRが用意している関数の使用方法やインストールなどの、プログラム開発担当者向けのトレーニングです。

1日目 SDR、GWGEM概要説明

• ソフトウェア構造について
• GWGEM・SDRがサポートしている機能の説明
• ランタイム環境について
• 開発環境について
• ユーザ作成プロセスについて
• 拡張部分の開発方法について
• 開発が必要な部分の説明
• GCDファイル作成の概要説明

2日目 SDR、GWGEM詳細説明

• GCDファイルの定義方法の説明
• GWGEM・SDRの関数説明
• インストール方法の説明
• インストール実習
• コンフィデンステスト
• 各種ログファイルの説明
• SECSパラメーターの与え方