200mm・300mm半導体製造装置通信テストツール CCS Envoy™ 機能
機能
すぐに使えるパッケージソフトウェア
テストインターフェースCCS Envoyとテスト計画フレームワーク CCS Testとの組合せによりインストール後、装置データを定義するだけでSECS-IとHSMS両方のインターフェースのテストを実施できます。
最新のSEMI規格に準拠したテスト計画フレームワーク
各SEMIスタンダードのバージョンに合わせたテスト計画フレームワークを提供します。装置の仕様にあわせた装置テストデータ・結果期待値を設定することで、スタンダードの適合性を確認できます。
対応 SEMIスタンダード
- E4 SECS-I
- E5 SECS-II
- E23 Parallel I/O Unit Test
- E30 GEM
- E37.1 HSMS-SS
- E84 Enhanced Parallel I/O Unit Test
- E87 Carrier Management
- E90 Substrate Tracking
- E40 Process Job
- E94 Control Job
ユーザによるSECS-IIメッセージ作成可能
装置固有のSECS－II メッセージを作成し任意のタイミングで送信することができます。簡易なSECS-IIメッセージ通信テストツールとしてもご使用いただけます。
HSMS通信シミュレート機能
HSMS-SSのコントロールメッセージを任意のタイミングで送信することができます。簡易なHSMS通信テストツールとしてもご使用いただけます。
- *PEER Groupは、カナダ The PEER Group Inc.社の米国およびカナダにおける登録商標です。
- *CCS Envoy, CCS Testは、カナダ The PEER Group Inc.社の米国およびカナダにおける商標です。
- *その他記載の製品、サービス名は各社の商標または、登録商標です。
関連情報
おすすめソリューション
PFATは、半導体製造装置に実装されるE30 GEM、GEM300、HSMS通信機能や通信シナリオテストの他、装置の内部保有データまで評価可能な装置総合テストツールです。
EIBは、Interface-A(EDA)、E30 GEM、およびGEM300 SEMI規格群に準拠した通信機能を半導体製造装置に実装することが出来る、装置組込型パッケージソフトウェアです。
ConX300は、GEM300 SEMI規格群に準拠した通信機能を半導体製造装置に実装することが出来る、装置組込型パッケージソフトウェアです。
GWGEMは、E30 GEM規格に準拠した通信機能を半導体製造装置に実装することが出来る、装置組込型パッケージソフトウェアです。