200mm・300mm半導体製造装置通信テストツール CCS Envoy™ 概要
CCS Envoyは、半導体製造装置に実装されるE30 GEM、GEM300、HSMS通信機能を、あらかじめ用意されたSEMI規格準拠テスト項目に基いて自動的に評価する事ができるテストツールです。
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| ISMIテストプロトコル | ISMIにてGEM300テストプロトコルとして紹介される唯一の製品
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|---|---|
| ディグレーションテスト | 各スタンダードの各バージョンのテストを効率的に実施
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| 固定化されたテストシナリオ | スタンダードごとに装置のSEMI規格準拠状態を客観的に評価
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| テスト担当のスキルに左右されない安定的なテスト | 目視確認によるテスト結果評価と比べ安定的な評価
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概要
テストインターフェースであるCCS Envoyと、SEMI規格のバージョンに合わせたテスト計画フレームワークであるCCS Testで、標準化されたテストを実施できます。
わかりやすく、シンプルな操作性、視認性の高いテスト結果と通信ログでテストを円滑に行うことができます。
- *PEER Groupは、カナダ The PEER Group Inc.社の米国およびカナダにおける登録商標です。
- *CCS Envoy, CCS Testは、カナダ The PEER Group Inc.社の米国およびカナダにおける商標です。
- *その他記載の製品、サービス名は各社の商標または、商標登録です。
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