200mm・300mm半導体製造装置通信テストツール CCS Envoy™ システム構成
CCS Envoy CCS Testの動作するPCを テストしたい装置とRS-232C（SECS-IとSECS-IIの場合）あるいはEthernet（HSMS-SSとSECS-IIの場合）で接続します。装置データや工場データを元にインストールしたテスト計画フレームワークにあわせてテストを実施できます。また任意のSECS-IIメッセージやHSMSのコントロールメッセージを任意のタイミングで送信可能ですので装置固有のテストも行えます。
特徴
わかりやすい操作、視認性の高いテスト結果と通信ログでテストを円滑に行うことができます。
- すぐに使えるパッケージソフトウェア
- 最新のSEMI規格に準拠したテスト計画フレームワーク
- ユーザによるSECS-IIメッセージ作成可能
- HSMS通信シミュレート機能
- 保護されたテスト結果管理（データベース）
- *PEER Groupは、カナダ The PEER Group Inc.社の米国およびカナダにおける登録商標です。
- *CCS Envoy, CCS Testは、カナダ The PEER Group Inc.社の米国およびカナダにおける商標です。
- *その他記載の製品、サービス名は各社の商標または、登録商標です。
関連情報
おすすめソリューション
PFATは、半導体製造装置に実装されるE30 GEM、GEM300、HSMS通信機能や通信シナリオテストの他、装置の内部保有データまで評価可能な装置総合テストツールです。
EIBは、Interface-A(EDA)、E30 GEM、およびGEM300 SEMI規格群に準拠した通信機能を半導体製造装置に実装することが出来る、装置組込型パッケージソフトウェアです。
ConX300は、GEM300 SEMI規格群に準拠した通信機能を半導体製造装置に実装することが出来る、装置組込型パッケージソフトウェアです。
GWGEMは、E30 GEM規格に準拠した通信機能を半導体製造装置に実装することが出来る、装置組込型パッケージソフトウェアです。