みずほリサーチ&テクノロジーズは、2023年12月13日 水曜日～15日 金曜日に開催される国内最大級の半導体製造装置・材料の国際展示会「SEMICON Japan 2023」(主催：SEMIジャパン)に出展し、当社ブースでは「next-gen Factory Automation Solutions」をテーマとし、ファクトリーオートメーション関連の各種ソリューションを提供します。
出展概要
●装置オンライン（EIB）
E30 GEM、GEM300、およびInterface-A(EDA) SEMI規格群に準拠した通信機能を提供するパッケージソフトウェアです。短期間でのSECS通信準拠装置の構築をサポートします。
●生産ライン制御（PFSC）
ステーションコントローラー構築用ソフトウェアです。上流工場システム（MES等）と装置の統合をサポートします。
●装置制御（PTO）
装置を構成するハードウェアをコントロールする装置統合制御フレームワークです。ECS構築、ロードポートなどのハードウェア制御、ユーザーGUIによる装置稼働監視などをサポートします。
●通信テスト（PFAT、SECSIM Pro+、CCS Envoy）
SECS通信をテストするためのホストシミュレーター、SEMI規格準拠テストツールです。システム設計フェーズから現地運用テストまでカバーし、開発期間短縮と品質向上をサポートします。
開催概要
| 名称 | SEMICON Japan 2023 |
|---|---|
| 会期 | 2023年12月13日水曜日～15日金曜日 |
| 展示会開催時間 | 3日間共通 10時～17時 |
| 出展場所 | 東京ビッグサイト（東展示棟、ブース番号：6914） |
| 入場料 |
展示会は全来場者登録入場制 ( 無料:Webサイトからの事前登録制) |
| 主催者 | SEMIジャパン |
当社出展予定製品
| 装置オンライン |
【EIB®】 |
マルチ通信規格対応装置組込ソフトウェア |
| 生産ライン制御 | 【PFSC™】 | ステーションコントローラー構築用ソフトウェア (参考出展) |
| 装置制御 |
【PTO®】 |
装置統合制御ソフトウェア |
| 通信テスト |
【PFAT™】 |
装置通信シナリオテストソフトウェア |
| SECS/HSMS通信シミュレーター | ||
| 通信規格準拠テストソフトウェア |
- *EIB、PTO、SECSIM Pro+は、カナダ PEER Intellectual Property Inc.社の米国における登録商標です。
- *PFSC、PFAT、CCS Envoyは、カナダ The PEER Group Inc.社の米国およびカナダにおける商標です。