PTOは、半導体装置内デバイスの制御を始め、装置内ウェハ搬送制御、装置操作画面(HMI)、工場ホストとの SEMI規格準拠通信といった装置内部のソフトウェア機能を統合した、装置統合制御ソフトウェアです。
PTOとは
半導体製造・検査装置は、前工程、後工程を問わず、ウェハ加工や検査のためのハードウェアと、それらを コントロールするソフトウェアシステムで構成されています。
PTOは、装置内で必要となる各種ソフトウェアを機能単位で部品化し、装置タイプや装置の機能に応じてそれら 部品を取捨選択しリンクすることで、前/後工程装置、処理/検査装置を問わず、さまざまな装置タイプの制御 システムを構築することが出来る、装置組み込み型のソフトウェアです。

装置内の各種ソフトウェアを部品として標準化することで、汎用性、流用性、拡張性、メンテナンス性を確保

次のようなお悩みを解決します!
左右スクロールで表全体を閲覧できます
![]() |
【課題】 |
左右スクロールで表全体を閲覧できます
![]() |
装置内にはさまざまなソフトウェアシステムがあり、それぞれが連携して動作する必要があります。 |
左右スクロールで表全体を閲覧できます
![]() |
【課題】 |
左右スクロールで表全体を閲覧できます
![]() |
ロードポート数やメーカは納入先工場から指定される場合がありますが、これら要求仕様ごとに改造や開発を行う必要はありません。 |
左右スクロールで表全体を閲覧できます
![]() |
【課題】 |
左右スクロールで表全体を閲覧できます
![]() |
枚葉処理・検査装置の場合、ウェハを装置に引き込むための機構やHMIは、どの装置でも大きな違いは無いため、それらのスクラッチ開発に時間とコストを費やすことは得策ではありません。 |
左右スクロールで表全体を閲覧できます
![]() |
【課題】 |
左右スクロールで表全体を閲覧できます
![]() |
装置内のシステムは、たび重なる場当たり的な機能追加や改造などによって巨大化、複雑化し、もはや流用や改造ができなくなってしまう場合があります。 |
左右スクロールで表全体を閲覧できます
![]() |
【課題】 |
左右スクロールで表全体を閲覧できます
![]() |
PTOには各社のハードウェアを制御するための数多くのドライバーが内蔵されていますが、それぞれにハードウェアシミュレータも用意しています。ロードポートやロボットアーム、シグナルタワーや真空装置などのハードウェアが無くても、シミュレーションモードでシステムの設計や動作確認、テストが可能です。 |
- *PEER Group®は、カナダ The PEER Group Inc.社の米国およびカナダにおける登録商標です。
- *PTO™は、カナダ The PEER Group Inc.社の米国およびカナダにおける商標です。
- *その他記載の製品、サービス名は各社の商標または、登録商標です。
関連情報
おすすめソリューション
SECS、HSMS対応シミュレーター SECSIM Pro+
SECSIM Pro+ は、半導体製造装置や工場ホストシステムに実装されるSECS・HSMS(SEMI半導体装置通信スタンダード)通信機能のテストやデバッグができる通信シミュレートソフトウェアです。
PFATは、半導体製造装置に実装されるE30 GEM、GEM300、HSMS通信機能や通信シナリオテストの他、装置の内部保有データまで評価可能な装置総合テストツールです。
GEM300、SECS、HSMS対応ソフトウェア ConX300
ConX300は、GEM300 SEMI規格群に準拠した通信機能を半導体製造装置に実装することが出来る、装置組込型パッケージソフトウェアです。
GWGEMは、E30 GEM規格に準拠した通信機能を半導体製造装置に実装することが出来る、装置組込型パッケージソフトウェアです。
GWGEMは、E30 GEM規格に準拠した通信機能を半導体製造装置に実装することが出来る、装置組込型パッケージソフトウェアです。
その他
[ニュースリリース] カナダPEER Group社と総代理店契約を締結、半導体製造装置メーカー向け、装置通信ソフトウェアの取り扱いを拡大