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SECS、HSMS対応通信ソフトウェア SDR™ 概要

SDRは、E5 SECS規格やE37 HSMS規格に準拠した通信機能を、半導体製造装置や工場のホストコンピューターに実装するための、組み込み型パッケージソフトウェアです。
SDRによって、工場側システムと製造装置の間でE5 SECS規格、E37 HSMS規格に準じた通信を行い、生産情報などを送受信することができます。

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実績
  • 世界の半導体装置サプライヤ トップ15社(※)のうち、14社がSDRを使用
  • トップ15社にランクインした日本の装置サプライヤ6社中、5社がSDRを使用

※VLSI Research Inc.社発表 "2011 Top Semiconductor Equipment Suppliers"


日本製半導体装置の260種以上に導入され18,000台を超える出荷実績があります


【 SDRを導入している主な装置 ( 日本製装置 )】

マスク製造、薄膜形成、CVD、PVD、CMP、チップマウンタ、洗浄装置、光学顕微鏡、電子顕微鏡、ステッパー、EB直描、X線検査、エッチャー、アッシャー、ICテスタ、SEM、平面研削盤、レジスト塗布、インプラ、スライサー、めっき、ダイサー、ハンドラ、プローバー、裏面研削盤、スピナー、レーザマーカー、キャリア搬送機、ボンダー、スピナー、ポリッシャー、マスク検査装置

概要
  • 即入手可能な既製のパッケージソフトウェアです
  • 迅速な開発・低開発コストを実現します
  • 豊富な導入実績により実証された信頼性があります
  • 完全なSECS/HSMS-SS/GEMをサポートします
  • Microsoft® Windows®11に対応しています
  • 他の組み込みソフトウェアやミドルウェアに干渉しないシンプルなソフトウェアです
  • ドングルなどの物理キーやソフトウェアライセンスキーが不要です
  • *SDRは、カナダ PEER Intellectual Property Inc.社の米国およびカナダにおける商標です。
  • *Microsoft Windowsは米国Microsoft Corporationの米国およびその他の国における登録商標または商標です。
  • *その他記載の製品、サービス名は各社の商標または、登録商標です。

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