システム構成
特徴
装置の動作や制御にあわせたConX300の関数群をコールするだけでGEM300対応インターフェースで要求されている機能を実装できます。
- すぐに使えるパッケージソフトウェア
- 専用設定画面が不要なテキストベースでのGEM300設定管理
- 装置の挙動に合わせた関数呼び出しによる各規格に準拠した複雑な状態モデル、 オブジェクト管理、シナリオの実装
- *ConX300は、カナダ PEER Intellectual Property Inc.社の米国における商標です。
- *Microsoft Windows は米国Microsoft Corporationの米国およびその他の国における登録商標または商標です。
- *その他記載の製品、サービス名は各社の商標または、登録商標です。
関連情報
おすすめソリューション
SECS、HSMS対応シミュレーター SECSIM Pro+
SECSIM Pro+ は、半導体製造装置や工場ホストシステムに実装されるSECS・HSMS（SEMI半導体装置通信スタンダード）通信機能のテストやデバッグができる通信シミュレートソフトウェアです。
PFATは、半導体製造装置に実装されるE30 GEM、GEM300、HSMS通信機能や通信シナリオテストの他、装置の内部保有データまで評価可能な装置総合テストツールです。
EIBは、Interface-A(EDA)、E30 GEM、およびGEM300 SEMI規格群に準拠した通信機能を半導体製造装置に実装することが出来る、装置組込型パッケージソフトウェアです。
GWGEMは、E30 GEM規格に準拠した通信機能を半導体製造装置に実装することが出来る、装置組込型パッケージソフトウェアです。
GWGEMは、E30 GEM規格に準拠した通信機能を半導体製造装置に実装することが出来る、装置組込型パッケージソフトウェアです。