めっきシミュレーター FabMeister®-EP機能 一覧

おすすめソリューション

• 3次元電子線リソグラフィシミュレーター FabMeister-EL

電子線リソグラフィにおける露光、酸の発生・拡散を考慮した現像前処理、および現像に至る一連のプロセスの解析ツールです。LER解析機能、最適プロセス条件の抽出機能等があります。