装置統合制御ソフトウェア PTO™ 機能

PTOは、さまざまな処理・検査装置で活用が可能な機能を数多く搭載しており、各機能ごとに装置特性やエンドユーザの要求に応えるための豊富な動作パラメータが用意されています。

PTOによる装置制御システムの構築

PTOは、実行環境で動作する本体プログラム、および画面プログラムがあります。
これらプログラムに対し、実現させたい部品を選択し、また各部品に与える動作パラメータの設定を設定ユーティリティ「PTC」で指定します。

設定ユーティリティ「PTC」を使用し、実現させたい部品の選択と、選択した部品に与える動作パラメータの設定を行います。

装置が実装しているハードウェア構成に合わせて、PTCでハードウェア設定を行います。
PTOが標準で用意していないハードウェアも、仕様をご提示いただくことで実装が可能です。

装置操作画面(HMI)もPTCで設定を行います。
ログイン認証から、画面タブ構成、各画面に配置する部品に至るさまざまな設定を行うことが出来ます。

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【HMI画面を構成する部品群】

ログイン認証、Job生成、各種ステータス表示、アラーム表示/解除、レシピ一覧表示/選択、チャート表示、シグナルタワー点灯状況、スロットマップ表示、ロードポート状態、ホスト通信状態、企業ロゴ、履歴表示、設定パラメータ表示/編集など。

【仕掛り品処理のための部品群】

キャリア仕掛り制御、スロットマップ読み取り、ジョブ(PJ/CJ)生成と実行、ウェハ搬入出ディスパッチ、レシピ選択/レシピパラメータ編集、真空装置制御(スロットバルブ開閉やベント)、全ウェハ払出し制御など。

【ハードウェア制御のための部品群】

各種ハードウェアメーカのロードポート、EFEM、ロボット、ドアコントローラ、アライナー、ライトタワー、LoadLock、ウェハリーダー、ファン、ポンプ、ゲージ、MFC、バルブ、タグリーダーなどの制御用ドライバ、およびPLCアクセスの為のOPCインターフェース。

【ホスト通信のための部品群】

SECS、GEM、GEM300、EDA、200mmShimアダプタなど。

上記の他、独自に部品をプログラム開発し、PTO標準部品の置き換えや拡張が可能な構成になっています。