装置操作画面(HMI)作成時の構成部品として、チャート表示機能がサポートされました。
処理室内の圧力や温度といった装置内の各種データをプログラムレスでチャート表示することができます。

1画面に複数チャートが表示出来るほか、1つのチャートに複数のデータを重ねることもできます。
画面作成ユーティリティを使用して、チャート表示したいデータを一覧から選択し、サンプリング周期や線の カラーなどを設定のうえ、装置操作画面(HMI)の任意の位置にレイアウトします。

300mmウェハ対応装置向けにGEMホスト対応のためのアダプタが用意されました。

300mmウェハ対応装置は、ホストインターフェースもSEMI 300mm規格群(GEM300)を実装することが一般的ですが、装置納入先のホストシステムが200mm規格(GEM)のみ対応の場合、200mm規格に合わせるためのカスタマイズが必要でした。

200mm Shimアダプタによって、300mmウェハ対応装置でも200mm規格(GEM)通信にダウングレードすることができます。

従来のDCPエディタは、CEMモデルの一部として定義する形態であったため、ハードウェア構成を変更するごとにデータ・ソースが変わり、DCPの設定を見直す必要がありました。

V6.1ではDCPエディタが独立し、装置シリーズごと、エンドユーザごと、試作機用など、ハードウェア構成の変更や装置リリースに応じて、設定したDCPを取捨選択出来るようになりました。

• VCE(Vacuum Cassette Elevator)に対応。
• 装置起動時のハードウェアチェック完了を待たずにホスト通信を開始可能とする機能を追加。
• 障害発生時における装置内滞留ウェハ払出し画面を刷新。
• ModBus プロトコルに対応。
• 実ハードウェアを使用せずシステムの動作確認を行うためのSimulationモードを用意。
• ログファイルのファイル数上限を設定できるよう改善。
• ロボットのアニメーション改善。
• アラーム一覧画面にフィルタリング機能と全アラーム一括クリア機能が追加。
• その他、軽微な機能追加・改善。
• 不具合修正。