
導入のメリット
開発期間の短縮と工数の削減
Interface-AあるいはGEM/SECS/GEM300に関する多くのSEMI規格をご存知ない方でも、EIB製品導入時のトレーニングや製品をお使いいただくことでInterface-A準拠あるいは、GEM/SECS/GEM300準拠の装置インターフェースを短期間で実装することができます。
最新規格の対応が容易に実現
SEMI規格に合わせた改訂もソフトウェアの入れ替えと多少のアプリケーションの変更で対応できますので、容易に最新SEMI規格に準拠することができます。
豊富なユーティリティによる効率的なメンテナンス
実装からテスト、メンテナンスに至るまでに必要となる様々なユーティリティがセットされています。また、各種プロトコルに対応したサンプルも用意されていますので、アプリケーションを容易に構築できます。
- *PEER Groupは、カナダ The PEER Group Inc.社の米国およびカナダにおける登録商標です。
- *EIBは、カナダ PEER Intellectual Property Inc.社の米国における商標です。
- *Microsoft .NETは、米国Microsoft Corp.の米国およびその他の国における登録商標です。
- *その他記載の製品、サービス名は各社の商標または、登録商標です。
関連情報
おすすめソリューション
SECS、HSMS対応シミュレーター SECSIM Pro+
SECSIM Pro+ は、半導体製造装置や工場ホストシステムに実装されるSECS・HSMS(SEMI半導体装置通信スタンダード)通信機能のテストやデバッグができる通信シミュレートソフトウェアです。
PFATは、半導体製造装置に実装されるE30 GEM、GEM300、HSMS通信機能や通信シナリオテストの他、装置の内部保有データまで評価可能な装置総合テストツールです。
GEM300、SECS、HSMS対応ソフトウェア ConX300
ConX300は、GEM300 SEMI規格群に準拠した通信機能を半導体製造装置に実装することが出来る、装置組込型パッケージソフトウェアです。
GWGEMは、E30 GEM規格に準拠した通信機能を半導体製造装置に実装することが出来る、装置組込型パッケージソフトウェアです。
GWGEMは、E30 GEM規格に準拠した通信機能を半導体製造装置に実装することが出来る、装置組込型パッケージソフトウェアです。