概要 機能 解析事例 利用形態 一覧に戻る パネルめっきにおける基板面内の膜厚分布の解析 1解析体系 めっき層構造 2計算結果 基板面内の膜厚分布 解析事例1.パネルめっき 解析事例2.パターンめっき(パターン率平均化近似、部分領域解析） 解析事例3.遮蔽板設計 解析事例4.ダミーパターン設計 解析事例5.埋め込みプロセス 解析事例6. 300mmウェハ用めっき槽の設計と製作への活用 一覧に戻る
