めっきシミュレーター FabMeister®-EP 解析事例 3.遮蔽板設計

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パターンめっきにおける遮蔽板の開口部の大きさおよびカソードと遮蔽板の距離を変化させた解析

1解析体系

（1）めっき槽構造

A.全体図

B.xy平面図

遮蔽板の開口部の大きさ（変数R）を変えた計算を行う。

C.側面図（xz側面図、yz側面図）

カソードと遮蔽板の距離（変数L）を変えた計算を行う。

（2）カソードのパターン配置図

2計算結果

（1）めっき槽内の電位分布・電流密度分布

電位分布

直線A、R＝110、L＝100［mm］

電流密度分布

直線A、R＝110、L＝100［mm］

膜厚分布

R＝110、L＝100［mm］

（2）カソードの膜厚分布（直線A断面）

遮蔽板開口部の大きさRの検討

カソードと遮蔽板の距離Lの検討

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