めっきシミュレーター FabMeister®-EP 解析事例 4.ダミーパターン設計

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パターンめっきにおいて、ダミーパターンの配置、形状を変化させた時のめっき膜厚分布への影響を解析

1解析体系

（1）めっき槽構造

（2）ダミーパターンの構造

2計算結果

（1）膜厚分布（基板面内）

（2）膜厚分布（X, Y断面）

膜厚分布（X断面）

膜厚分布（Y断面）

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