300mmウェハ用めっき槽において、遮蔽板とカソード間の距離L、遮蔽板の開口径Rをパラメータとした場合に、設計段階でのシミュレーション結果と、実際に製作しためっき槽で測定した17地点の膜厚値との比較を行う。
めっき膜厚値測定地点（17地点）
解析体系
A.全体図
B.側面図
300mmウェハ用めっき槽
計算結果
設計段階のシミュレーション結果は、実測の膜厚分布と良く一致する。
(1) 遮蔽板とカソード間の距離Lをパラメータとした、実測との比較
設計段階のシミュレーションと実測ともに、L=60mmのとき、膜厚が最も均一となる。
(2) 遮蔽板の開口径Rをパラメータとした、実測との比較
設計段階のシミュレーションと実測ともに、R=230mmのとき、膜厚が最も均一となる。
本事例は，技術研究組合 NMEMS技術研究機構 様のご協力のもと実施した、独立行政法人 新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）の「グリーンセンサ・ネットワークシステム技術開発プロジェクト」の成果です。
- 解析事例1.パネルめっき
- 解析事例2.パターンめっき(パターン率平均化近似、部分領域解析）
- 解析事例3.遮蔽板設計
- 解析事例4.ダミーパターン設計
- 解析事例5.埋め込みプロセス
- 解析事例6. 300mmウェハ用めっき槽の設計と製作への活用